Melec电源维修Melec脉冲发生器维修Melec脉冲电源维修高压发生器 Melec的电源脉冲发生器可实现多种用途,凭借现有的直流电源配上Melec的电源脉冲发生器即可实现单较脉冲、双较脉冲、偏压以及HiPIMS高能脉冲电源等功能。 NiCr靶使用直流及HiPIMS晶体结构对比 以HiPIMS高能脉冲为例,相较于直流电源,离化率高,沉积的薄膜附着力好,从上图可以看出,直流电源沉积出的为柱状结构,而HiPIMS电源沉积出的为玻璃状结构,膜层致密。 Melec的电源脉冲发生器主要分为研发领域使用的SIPP2000系列以及工业领域使用的SPIK系列,其中SIPP2000系列分为单较和双较两种,SPIK系列分为SPIK1000A、SPIK2000A和SPIK3000A三种。SPIK系列涵盖的功率范围可从0.5KW到30KW。 Melec推出的SPIK3000A基本性能参数如下: 项目 规格参数 直流电源功率输入 10KW,20KW,30KW 直流电源电压输入 1000V 直流电源电流输入 50A 脉冲输出电压 1000V 脉冲输出电流 1000A(峰值) 认证 CE认证 Melec电源脉冲发生器,除了单独产生脉冲之外,也可进行叠加使用,根据不同的应用以及不同的基材等,进行各种不同的叠加。 对于单靶或者单弧源来说,可以进行直流和单较HiPIMS高能脉冲、直流和单较脉冲以及单较脉冲和单较HiPIMS高能脉冲叠加,实现共溅射的功能。 直流和单较HiPIMS高能脉冲叠加 对于双靶来说,可以进行多种的叠加,比如双较脉冲和双较HiPIMS高能脉冲、单较脉冲和双较HiPIMS高能脉冲(Bias偏压同步)、双较HiPIMS高能脉冲/双较脉冲和单较脉冲(Bias偏压同步)、单较HiPIMS高能脉冲/双较脉冲和单较脉冲(Bias偏压同步)、双较HiPIMS高能脉冲和RF(Bias偏压同步)以及单较HiPIMS高能脉冲和RF(Bias偏压同步)叠加等。