Melec电源维修Melec脉冲发生器维修Melec脉冲电源维修高压发生器

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Melec的电源脉冲发生器可实现多种用途，凭借现有的直流电源配上Melec的电源脉冲发生器即可实现单较脉冲、双较脉冲、偏压以及HiPIMS高能脉冲电源等功能。
  NiCr靶使用直流及HiPIMS晶体结构对比
以HiPIMS高能脉冲为例，相较于直流电源，离化率高，沉积的薄膜附着力好，从上图可以看出，直流电源沉积出的为柱状结构，而HiPIMS电源沉积出的为玻璃状结构，膜层致密。
 Melec的电源脉冲发生器主要分为研发领域使用的SIPP2000系列以及工业领域使用的SPIK系列，其中SIPP2000系列分为单较和双较两种，SPIK系列分为SPIK1000A、SPIK2000A和SPIK3000A三种。SPIK系列涵盖的功率范围可从0.5KW到30KW。
  Melec推出的SPIK3000A基本性能参数如下：
 项目
规格参数
直流电源功率输入
10KW,20KW,30KW

直流电源电压输入

1000V

直流电源电流输入

50A

脉冲输出电压

1000V

脉冲输出电流

1000A(峰值)

认证

CE认证

Melec电源脉冲发生器，除了单独产生脉冲之外，也可进行叠加使用，根据不同的应用以及不同的基材等，进行各种不同的叠加。

 对于单靶或者单弧源来说，可以进行直流和单较HiPIMS高能脉冲、直流和单较脉冲以及单较脉冲和单较HiPIMS高能脉冲叠加，实现共溅射的功能。

                   直流和单较HiPIMS高能脉冲叠加

 对于双靶来说，可以进行多种的叠加，比如双较脉冲和双较HiPIMS高能脉冲、单较脉冲和双较HiPIMS高能脉冲(Bias偏压同步)、双较HiPIMS高能脉冲/双较脉冲和单较脉冲(Bias偏压同步)、单较HiPIMS高能脉冲/双较脉冲和单较脉冲(Bias偏压同步)、双较HiPIMS高能脉冲和RF(Bias偏压同步)以及单较HiPIMS高能脉冲和RF(Bias偏压同步)叠加等。